Vaisala PTB210 (analog) - Инструкция (Страница 8)

РАЗДЕЛ 2 __________________________________________________________ ОПИСАНИЕ ПРОДУКТА
V AISALA __________________________________________________________________________ 3
Барометры PTB210 оснащены кремниевым емкостным датчиком
абсолютного давления BAROCAP
® , разработанного Vaisala.
Датчик характеризуется незначительным гистерезисом,
отличными характеристиками сходимости, а также обладает
превосходной температурной и долговременной стабильностью.
Thin film metallization Silicon
Vacuum gap
Silicon
Glass
Silicon diaphragm
Рисунок 2 Датчик давления BAROCAP ®
Датчик давления BAROCAP ® состоит из двух слоев
однокристального кремния, между которыми лежит слой стекла.
Более тонкий слой кремния создает интегрированную вакуумную
эталонную камеру, и формирует чувствительную к давлению
кремниевую диафрагму. Более толстый слой кремния является
твердой пластиной-основой датчика, и покрыт стеклянным
диэлектриком. Для формирования электрода емкости внутри
вакуумной эталонной камеры вложена тонкая металлизированная
пленка. Другим электродом является чувствительная к давлению
кремниевая диафрагма.
Коэффициенты термического расширения кремния и стекла,
используемых в датчике давления BAROCAP
® , тщательно
подобраны друг к другу с целью минимизировать температурную
зависимость и максимально увеличить долговременную
стабильность. Датчик давления BAROCAP
® предназначен для
достижения нулевой температурной зависимости при 1000 гПа, а
его долговременная стабильность максимально увеличена за счет
термического старения при повышенной температуре.